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与台积电、三星相比，
Intel
在EUV
光刻机上跟进的较晚，但是今年也要追上来了，有分析称Intel
已经有10
到·12
台EUV
光刻机，明年的14
代酷睿将首发Intel 4 EUV
工艺。EUV
光刻机是目前半导体生产中最先进也是最复杂的装备，售价约合10
亿一台，只有荷兰ASML
公司能够生产，虽然客户也只有Intel
、台积电、三星这三家，但现在还是供不应求，去年生产了55
台，预计2025
年产能提升到每年90
台。尽管价值不菲，但是
EUV
光刻机不仅能够制造先进工艺芯片， 同时还能减少工艺步骤，降低复杂度，意味着芯片成本更低，产能更大，在5nm
之后的工艺生产中极为重要。
目前的
Intel 10
及Intel 7
工艺都没有使用EUV
光刻机，
Intel
会在Intel 4
工艺上首发EUV
工艺，首款处理器是14
代酷睿Meteor Lake
，2023
年上市，而且也是Intel
首款采用3D
封装的桌面处理器。14
代酷睿的进度要取决于Intel
的EUV
工艺进展，有爆料称Intel
目前大约有10-12
台EUV
光刻机，现在主要在俄勒冈州的D1X
晶圆厂及研发中心，这也是Intel
最早量产Intel 4 EUV
工艺的工厂，再往后是位于爱尔兰的晶圆厂，后面也会量产Intel 4
工艺。虽然
10-12
台EUV
光刻机听着不多，但是实际的产能不小，EUV
光刻机每小时处理的晶圆数在160-220
个左右，平均200
个来算，一年中24
小时不停生产就有170
万晶圆，足够生产数千万芯片，10
台以上的总量足够Intel
生产未来的处理器了。